一种铌酸锂晶体研磨加工过程中的辅助件.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种铌酸锂晶体研磨加工过程中的辅助件.pdf

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本发明公开了一种铌酸锂晶体研磨过程中的辅助件，属于超精密研磨加工领域，包括辅助件本体，辅助件本体的中心处设有用于设置铌酸锂晶体的工件贴片区域，辅助件本体的材料为高弹性模量氧化铝，设置于工件贴片区域内的铌酸锂晶体的高度与辅助件本体的高度相同，辅助件本体上均匀设有提高磨粒进入工件工作区域量的若干条流道，流道位于工件贴片区域的周边，铌酸锂弹性模量小，辅助件氧化铝弹性模量大，在加工过程中去除量不同，通过一定时间的研磨加工，辅助件和工件之间会产生高度差，工件与研磨盘的接触也从直接接触转变为半接触状态，有效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114310659 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210024633.0 (22)申请日 2022.01.11 (71)申请人浙江工业大学地址