一种样品传输装置及半导体设备.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种样品传输装置及半导体设备.pdf

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本发明提供了一种样品传输装置，用于在半导体设备的腔体内传输样品，包括：传送台，用于放置样品；传送杆，与传送台活动结合或分离，传送杆的一端包括定位件，传送台内部构造出置入腔，在置入腔内使定位件进行周向转动和轴向移动，以将定位件在沿轴向移动方向上的前端面或后端面与传送台接触，通过定位件推拉传送台以在腔体内传输样品；限位模块，用于对传送杆限位使传送杆形成阻止作轴向移动的锁止状态，当对传送杆施加周向转动力使定位件转动时，实现定位件在锁止状态与能够驱动传送杆作轴向移动的解锁状态之间切换。本发明还提供一种包

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334762 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111511557.8 (22)申请日 2021.12.06 (71)申请人上海精测半导体技术有限公司