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本发明提供了一种Cu掺杂的Sb2Te3体系相变材料、相变存储器及制备方法装置,属于微纳米电子技术领域。其中,Sb‑Te体系相变材料通过Cu元素掺杂,在局部富Cu的情况下形成同时具备四面体以及八面体结构的Cu3Te2键合。强键合的四面体结构提高Sb‑Te体系相变材料的非晶稳定性及数据保持能力,晶体构型八面体结构提高Sb‑Te体系相变材料的结晶速度。本发明还提供了包含该相变材料的相变存储器以及相变材料的制备方法。本发明的相变材料能同时改善器件的速度和非晶稳定性,提升相变存储器的综合性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114361335 A
(43)申请公布日 2022.04.15
(21)申请号 202111535353.8
(22)申请日 2021.12.15
(71)申请人 华中科技大学
地址
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