处理装置和方法、测量装置和方法、光刻装置、制造物品的方法、模型、生成方法和装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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处理装置和方法、测量装置和方法、光刻装置、制造物品的方法、模型、生成方法和装置.pdf

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公开了处理装置和方法、测量装置和方法、光刻装置、制造物品的方法、模型、生成方法和装置。本发明提供了一种处理装置，包括：生成器，被配置为基于测量目标的图像数据来生成第一方向上的测量目标的位置信息；以及确定器，被配置为基于与不同于第一方向的第二方向相关的图像数据的特征量来确定由生成器生成的测量目标的位置信息的置信度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114384772 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111214067.1 (22)申请日 2021.10.19 (30)优先权数据