毕业论文-平面电容传感器模型特性研究.doc

PAGE I 平面电容传感器模型特性研究 摘　要 电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。由于电容式传感器具有一系列突出的优点：如结构简单，体积小，分辨率高，成本低，性能优良以及对环境要求不高、可在恶劣环境中工作，可非接触测量等。这些优点，随着电子技术的迅速发展，特别是集成电路的出现，将得到进一步的体现。 它不但广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大，应用于压力、液面、料面、成分含量等方面的测量。这种传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应性强、抗过载能力大及价格便宜等一系列优点，而它存在的分布电容、非线性等缺点又将不断地得到克服，因此电容式传感器在非电测量和自动检测中得到了广泛的应用。 本文提出一种新型平面板极电容传感器模型，主要应用在板材、屋面等平面结构的特性检测，重点对传感器的建立、参数特性、应用检测进行了论述。 关键词：非线性；平面电容传感器?MACROBUTTON NoMacro [Click and type abstract text here.] Abstract Capacitive sensor?is a?sensor is?converted to?the?measurement of?capacitance change.?Due to the capacitive?sensor?has a series of?advantages:?such as simple structure,?small volume,high resolution,?low cost,?excellent performance?and?environmental requirements is not high,can work?in harsh environments,?non?contact measurement.?These advantages,?along with?the rapid development of electronic technology,?especially the emergence of?integrated circuit,?will be further?reflected. It is not only widely ,used in?precision measurement?vibration?acceleration,angle,?and other mechanical?quantity,?but also?gradually expanded,?is used to measure thepressure,?liquid level,?level,?composition?etc..?This kind of sensor has?a series of?advantages such as simple structure,?high sensitivity,?good dynamic response performance,?strong adaptability,?resistance to?overload capability?and?low price,?which is?the?distributed capacitance,?nonlinear defects?and?will continue to?be overcome,?so the?capacitive sensor?has been widely used in the?non electric measurement?and automatic?detection. In this paper,?based?on?the?key?parameters,?the application of?the sensor?detection?are discussed in this paper. Key Words: nonlinear,planar capacitance?sensor 目　录 TOC \o 1-3 \h \z \u 绪论 1 第一章 电容传感器的概述 2 1.1 变间隙式电容传感器 2 1.2变面积式电容传感器 3 1.3变介电常数式电容传感器 4 1.4电容式传感器的应用 5 1.4.1电容式位移传感器 6 1.4.2电容式压力传感器 6 1.4.3电容式加速度传感器 7 1.4.4电容式液位传感器 7 1.4.5电容式测厚仪 9 第二章 平面电容传感器的设计 11 2.1平面电容传感模型的建立 11 2.2模型的特性分析