微调装置和加工装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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本发明提供微调装置和加工装置，其缩短倾斜调整的时间。该微调装置夹设在工作台基座与支承该工作台基座的基台之间，对该工作台基座与该基台之间的距离进行调整，该工作台基座将在保持面上保持被加工物的卡盘工作台支承为能够旋转，其中，该微调装置包含：支承部件，其具有上部、中间部以及下部，该上部固定于工作台基座，该中间部固定于基台；收纳室，其形成于该支承部件；压电致动器，其收纳于该收纳室内，能够在垂直方向上伸缩；以及伸缩构造部，其交替形成多个从第1侧将该中间部部分地切断的第1缝和从该第1侧的相反侧将该中间部部分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114393485 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202111157606.2 (22)申请日 2021.09.30 (30)优先权数据 2020-1696