直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf

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本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置，属于提高晶棒收率工艺的技术领域，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°，当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时，使得整个热场的温度得到改变，使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近，使得晶棒拉出后，晶棒的尾部的截面尽量接近水平，进而晶棒的收率提高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114369865 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202111639257.8 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人宁夏申和新材料科技有限公司