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本发明实施例提出了一种晶体管阵列及其制造方法，其中，所述晶体管阵列，包括：分别沿第一方向和第二方向排列的多个具有两个分支部的U型有源柱；其中，每一所述U型有源柱包括：沟道区；源极，位于所述沟道区的第一端；漏极，位于所述沟道区的第二端，其中，所述第一端和所述第二端分别为所述沟道区在第三方向上相对的两端，所述第三方向与用于形成所述晶体管阵列的衬底的表面垂直；所述第一方向与所述第二方向构成的平面垂直于所述第三方向；多个栅极结构，每一所述栅极结构位于沿第一方向排布的两个相邻U型有源柱之间；以及，多个相互
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114373764 A
(43)申请公布日 2022.04.19
(21)申请号 202111643729.7
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 芯盟科技有限公司
地址
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