一种静电吸盘的组装方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种静电吸盘的组装方法.pdf

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本发明提供了一种静电吸盘的组装方法，包括：提供一基座；通过第一粘结层将陶瓷盘固定在所述基座的一侧，所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝。其中所述基座与所述陶瓷盘通过第一粘结层进行组装，在组装的过程中通过控制第一粘结层和/或陶瓷盘自身的平整度，以确保组装完成后陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝，进而达到工艺所需的平整度要求。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388423 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210054190.X B32B 9/00 (2006.01)