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一种可偏转压板包括:第一层,由具有第一热膨胀系数(CTE)的材料形成;以及第二层,结合到第一层且具有第二热膨胀系数,第二层包括嵌置在第二层中的多个电极以利于将晶片静电夹持到第二层,其中第二热膨胀系数与第一热膨胀系数不同。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114402427 A
(43)申请公布日 2022.04.26
(21)申请号 202080061974.4 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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