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2023-05-07 发布于北京
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自动上下料装置.pdf

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本发明涉及半导体制造设备领域，公开了一种自动上下料装置，包括基座；设于基座上的料匣、上下料机构、取料机构、送料机构、暂存台和工作台；料匣固定于料匣拖板上，暂存台设于工作台和料匣之间，暂存台分别与料匣、工作台间隔设置；上下料机构包括第一驱动模组和与第一驱动模组连接的料匣拖板，第一驱动模组驱动料匣拖板带动所述料匣上下运动以调整料匣的高度；取料机构包括第二驱动模组以及与第二驱动模组连接的夹料模组，第二驱动模组驱动夹料模组在暂存台和料匣之间往复运动；送料机构包括第三驱动模组以及与第三驱动模组连接的吸盘模

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114368617 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202210087214.1 B65G 47/74 (2006.01) (22)申请日 2