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2023-05-07 发布于北京
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自动上下料装置.pdf

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本发明涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种自动上下料装置，其包括基座、安装支架、至少一个料匣、暂存台、工作台、上下料机构、推出机构、传送机构以及取放料机构，安装支架靠近所述基座设置，暂存台、工作台以及取放料机构设于基座上，上下料机构、推出机构以及传送机构设于安装支架上，传送机构位于料匣的正面，推出机构位于料匣的背面，工作台、暂存台与传送机构同侧设置且暂存台设于工作台和传送机构之间，料匣用于承载物料，暂存台和工作台用于存放物料，物料包括待加工物料和加工后物料。通过上述方式，本发明能够节约成本、提高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114380035 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210085818.2 B65G 15/30 (2006.01) (22)申请日 2