等离子体处理装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约4.06万字
约 38页
2023-05-07 发布于北京
举报
版权申诉

等离子体处理装置.pdf

1、本文档共38页，其中可免费阅读37页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种等离子体处理装置，能够提高等离子体的面内均匀性。等离子体处理装置具有腔室、第一下部电极、第二下部电极、第一上部电极、第二上部电极以及第一电源。第一下部电极设置于腔室的内部，所述第一下部电极具有用于载置基板的基板载置区域。第二下部电极配置于基板载置区域的外侧的区域。第一上部电极与基板载置区域相向地配置。第二上部电极配置于第一上部电极的外侧的区域，并与第二下部电极相向地配置。第一电源向第一下部电极供给具有周期性的信号。第二下部电极和第二上部电极中的至少一方具有凹部。第二下部电极或第二上

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388329 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111194324.X (22)申请日 2021.10.13 (30)优先权数据 2020-1773