一种滤网探针.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种滤网探针.pdf

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本发明公开了一种滤网探针，包括双窗口固定模块、滤网采样气室、平面反射镜固定模块和镜片吹扫结构，所述镜片吹扫结构包括隔热腔模块、送气管、前端吹扫气环腔模块和后端吹扫气环腔模块；所述隔热腔模块包括吹扫气供应单元，所述吹扫气供应单元用于提供吹扫气体；所述送气管与所述吹扫气供应单元连通；所述吹扫气供应单元通过所述送气管与所述前端吹扫气环腔模块和后端吹扫气环腔模块连通；所述前端吹扫气环腔模块的吹扫出口与窗口片对应；所述后端吹扫气环腔模块的吹扫出口与平面反射镜对应。本发明的滤网探针，使得滤网探针镜片上的灰尘

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114354297 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202210274760.6 B01D 46/24 (2006.01) (22)申请日 2