高品质因子嵌入式谐振器晶片.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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高品质因子嵌入式谐振器晶片.pdf

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本文揭露的实施方式包括诊断基板和使用这种基板的方法。在一实施方式中，诊断基板包含基板和在基板之上的装置层。在一实施方式中，诊断基板进一步包含在装置层中的谐振器。在一实施方式中，谐振器包含腔、在腔之上的覆盖层及在腔内的用于驱动和感测覆盖层的谐振的电极。在一实施方式中，诊断基板进一步包含围绕谐振器的周边的反射器。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114402423 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202080063194.3 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理