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本发明公开了一种带深腔的晶圆级红外光学窗口，涉及到红外光学窗口领域，包括晶圆，所述晶圆的表面制作有带深腔的晶圆级红外窗口单元，所述晶圆的外围有用激光打穿的4个十字对准标记。本发明所有光刻图案均在平面上制作，避免在已经制备好深腔晶圆的上进行光刻造成的光刻胶旋涂不均，去胶困难问题，本发明全流程使用光刻方法进行图形制作，避免使用机械掩膜在深槽内制作图形造成的图形边缘衍出问题，且可以实现带深腔红外晶圆级封装窗口小型化需求，单个光窗的尺寸最小可达到微米级，光窗单元尺寸范围可设置在500um‑5mm，一般机
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114373738 A
(43)申请公布日 2022.04.19
(21)申请号 202111681262.5
(22)申请日 2021.12.30
(71)申请人 苏州厚朴传感科技有限公司
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