光学元件表面应力的测量方法以及装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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光学元件表面应力的测量方法以及装置.pdf

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本申请提出一种光学元件表面应力的测量方法以及装置，涉及膜基结构元件的偏振、应力测量技术领域，实现测量方法的测量装置包括光源、起偏器、滤波扩束准直器、检偏器、光电探测器等；测量方法包括：获取光电探测器输出的第一信号能量；第一信号能量为光电探测器对载物台上待测元件在测量装置处于第一工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；获取光电探测器输出的第二信号能量；第二信号能量为光电探测器对待测元件在测量装置处于第二工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；根据第一信号能量确定第一光强分布信息，并根据第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114370962 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202111562161.6 (22)申请日 2021.12.17 (71)申请人浙江清华柔性电子技术研究院