一种具有极紫外金属滤膜的SiC基极紫外探测器.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种具有极紫外金属滤膜的SiC基极紫外探测器.pdf

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本发明公开了一种具有极紫外金属滤膜的SiC基极紫外探测器，4H‑SiC肖特基金属电极为金属锆层或金属锆层与其它金属层的复合结构。本发明具有极紫外金属滤膜SiC基极紫外探测器，改进了现有技术中用于13.5nmEUV光刻系统中“4H‑SiC极紫外探测器在380nm‑20nm波段范围有响应”的不足，通过实践验证，本发明中具有极紫外金属滤膜4H‑SiC极紫外探测器与常规4H‑SiC极紫外探测器工艺兼容，在保证13.5nm处响应度的同时，有效抑制了带外波段的响应。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114373824 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202111598624.4 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人苏州镓敏光电科技有限公司