微反射镜阵列.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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微反射镜阵列.pdf

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一种微反射镜阵列包括：衬底；用于反射入射光的多个反射镜；以及针对多个反射镜中的每个反射镜(20)，用于使反射镜进行位移的至少一个压电致动器(21)，其中至少一个压电致动器连接到衬底。该微反射镜阵列还包括一个或多个支柱(24)，一个或多个支柱(24)将反射镜连接到至少一个压电致动器。还公开了一种形成这种微反射镜阵列的方法。微反射镜阵列可以用于可编程照射器中。可编程照射器可以用于光刻设备和/或检查设备中。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114402261 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202080058778.1 N ·潘迪　S ·A ·戈登　 (22)申请日 2