一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置.pdf

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本发明涉及一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置。把三维扫描激光放在真空靶外，简化了移动靶台和移动激光器所需的复杂设计，减少了装置经济成本。把待清洗的样品及收集装置放在真空靶室中进行，阻止了清洗目标逃逸到环境中污染环境，同时真空腔室起到防辐射作用，特别适用于剧毒样品和辐射类样品的清洗和收集，并且很好地保护了已清洗样品表面的洁净。样品安装台与等离子体吸收靶筒连上抑制电势，有效地阻止等离子体的逃逸，增加等离子的收集效率。独特的光路结构，光学机构做移动扫描运动时，总光程可实验自动补偿，激光聚焦光斑可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114378054 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111655857.3 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人复旦大学地址 20