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本发明实施例公开了一种硅基OLED显示基板。该硅基OLED显示基板包括:晶圆基板和多个支撑隔离部件,晶圆基板包括基底以及形成于基底上的多个裸片;多个支撑隔离部件位于晶圆基板上的相邻裸片之间,并且支撑隔离部件的高度大于裸片的高度,支撑隔离部件条用于支撑蒸镀用通用型掩膜版。本实施例解决了现有硅基OLED产品受颗粒影响严重,良率异常,以及封装失效的技术问题,在白光OLED器件的蒸镀过程中,对掩膜版和基板进行有效隔离,防止清洗后残存于掩膜版上的颗粒粘附到基板上,减少了掩膜版引入硅基OLED产品的颗粒数量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114388721 A
(43)申请公布日 2022.04.22
(21)申请号 202111663956.6 C23C 14/24 (2006.01)
(22)申请日 2
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