通过从线切割电介质的过孔掩模的选择性生长来在线端部放置顶部过孔.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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通过从线切割电介质的过孔掩模的选择性生长来在线端部放置顶部过孔.pdf

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本发明的实施例涉及用于在互连结构(100)的线端部放置自对准顶部过孔(802)的制造方法和所得结构。在本发明的非限制性实施例中，在互连结构(100)的金属化层中形成线特征(102)。线特征(102)可以包括线硬掩模(104)。在线特征(102)中形成沟槽(106)以暴露线特征(102)的线末端。用主体材料(202)填充沟槽(106)，并且在线特征(102)的第一线端部上形成生长抑制物(402)。在线特征(102)的第二线路端部上形成过孔掩模(602)。过孔掩模(602)可以选择性地生长在主体材料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114402428 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202080064744.3 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所