处理液喷嘴和清洗装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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处理液喷嘴和清洗装置.pdf

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本发明的一个方式的处理液喷嘴包括超声波施加部(60)、第一供给流路(71)、释放流路(72)和第二供给流路(73)。超声波施加部(60)具有产生超声波的振子(61)和与振子(61)接合的振动体(62)。第一供给流路(71)对与超声波施加部(60)的振动体(62)接触的位置供给第一液体(L1)。释放流路(72)将由超声波施加部(60)施加了超声波的第一液体(L1)供给到释放口(74)。第二供给流路(73)连接在释放流路(72)的比超声波施加部(60)靠下游侧的位置，对释放流路(72)供给第二液体(

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114401801 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202080064746.2 (74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限