一种振动传感器灵敏度高温校准方法及装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种振动传感器灵敏度高温校准方法及装置.pdf

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本发明公开了一种振动传感器灵敏度高温校准方法及装置，该方法包括：使用振动传感器灵敏度校准专用支撑框将灵敏度温度校准所需的振动激励装置、温度场环境控制装置、激光干涉测量及信号处理装置组合成一个系统，确保传感器校准时可同时实现激光干涉测量和温度环境场可控制；提供振动激励，采集传感器输出电压信号；采集外差激光干涉信号，利用相位展开法提取干涉信号相位；最后利用正弦逼近法拟合激光干涉信号相位和电压输出信号，实现振动传感器灵敏度幅值和相位校准，解决了现有振动传感器高温灵敏度校准精度不高的问题，该装置技术校准

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114383712 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210071178.X (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人中国计量科学研究院地