一种适用于碳化硅刻蚀用的晶片固定装置及其使用方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.63万字
约 20页
2023-05-07 发布于北京
举报
版权申诉

一种适用于碳化硅刻蚀用的晶片固定装置及其使用方法.pdf

1、本文档共20页，其中可免费阅读19页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种适用于碳化硅刻蚀用的晶片固定装置及其使用方法，包括主体结构以及三个使用步骤，其中，主体结构包括绝缘环、下水盘、静电盘、边缘环、定位环以及聚集环，绝缘环设置在最底部，且绝缘环水平设置，下水盘通过第一固定螺栓固定安装在绝缘环的上部。本发明提出的适用于碳化硅刻蚀用的晶片固定装置及其使用方法，采用由静电硅胶制成的静电盘对碳化硅晶片进行静电吸附固定以保证碳化硅晶片在蚀刻工艺过程中的准确位置，最大程度降低了碳化硅晶片在蚀刻工艺过程中所受的机械外力影响，可避免碳化硅晶片翘曲以及产生暗伤，能够有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388422 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210018862.1 (22)申请日 2022.01.09 (71)申请人李俊宏地址 650