用于贴标机的检测模组及贴标机.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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用于贴标机的检测模组及贴标机.pdf

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本发明公开了一种用于贴标机的检测模组及贴标机，包括：检测台、夹持单元、两个图像采集单元和图像分析单元；夹持单元设于检测台，夹持单元适于夹持晶圆以带动晶圆在第一方向移动；两个图像采集单元在第二方向上间隔开设置在检测台上，在第二方向上，两个图像采集单元分别位于夹持单元在第二方向上的两侧，两个图像采集单元分别采集晶圆在第二方向上的不同区域的图像信息，第一方向垂直于第二方向。根据本发明实施例的用于贴标机的检测模组，检测模组自动化程度，控制智能化，能够对每个所要检测的晶圆实现精确定位控制，且响应速度快和系

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388408 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111637227.3 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人合肥钛柯精密机械有限公司