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为了提高形成于多个基板的膜的厚度的均匀性而使基板处理装置的构成具备:基板保持件,其具有保持多个基板的基板支承件、和对配置在该多个基板之间的多个隔板进行支承的隔板支承部;容纳基板保持件的反应管;使基板保持件进出反应管的第一驱动部;使基板保持件旋转并沿上下方向驱动基板支承件和隔板支承部中的某一方的第二驱动部;加热基板的加热部;在反应管内部供给气体的气体供给部;将气体从反应管排出的排气部;和控制部,其在将基板保持件插入反应管内部的状态下控制气体供给部和第二驱动部,使得一边驱动第二驱动部以使多个基板或多
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114402421 A
(43)申请公布日 2022.04.26
(21)申请号 201980100442.4 (51)Int.Cl.
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