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本公开提出一种冷却装置、冷却系统及扩散炉管装置,冷却装置包括进气端以及出气端;进气端用于连接气源;出气端包括与晶舟分区对应并间隔设置的冷却盘管,冷却盘管设置有出气口,用于向晶舟分区吹送冷却气体。通过上述设计,本公开提出的冷却装置能够提升晶圆的冷却效率,并能够使晶圆的降温更加均匀。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114383426 A
(43)申请公布日 2022.04.22
(21)申请号 202210056133.5
(22)申请日 2022.01.18
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
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