作为对准源的激光器模块、量测系统和光刻设备.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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作为对准源的激光器模块、量测系统和光刻设备.pdf

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披露了一种经改善的激光器模块。该激光器模块可以包括：激光源(310)，该激光源被配置成产生激光；以及无限冲激响应滤波器，该无限冲激响应滤波器被配置成通过对激光的分量的相位进行解相关来减小所述激光的相干效应。无限冲激响应滤波器可以包括多个光学耦合器(410，420，430，440，450)，以形成分别具有不同的光学路径长度(L1，L2，L3)的多个光学传播回路。激光器模块还可以包括声光调制器，该声光调制器被布置于光学传播回路中并且被配置成使光学载波频率移位，使得激光器模块的输出具有加宽的光谱以进一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114402264 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202080064758.5 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任