一种晶元拾放装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种晶元拾放装置.pdf

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本发明提供了一种晶元拾放装置，涉及半导体装片机技术领域技术领域，晶元拾放装置包括晶元拾取机构、晶元拾取传递机构、晶元固晶取放机构以及光学微调机构，晶元固晶取放机构包括旋转组件和若干个拾取头，拾取头设于旋转组件的周向，且与旋转组件驱动连接，晶元拾取传递机构设于晶元拾取机构和拾取头之间；晶元在拾取头取放或者转运时利用光学微调机构对其位置进行校准。本发明既通过旋转组件实现了高速度旋转，又在转运过程中进行了光学校正，以及晶元放置前的光学微调，从而保证晶元拾放的过程中高速运动的同时实现了高精度，克服了现有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114373708 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202210040434.9 (22)申请日 2022.01.14 (71)申请人袁文武地址 215