一种硅片加热装置及方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种硅片加热装置及方法.pdf

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本申请公开了一种硅片加热装置及方法，属于太阳能电池技术领域。包括：壳体，壳体形成密封腔，密封腔用于放置载体，载体装载有硅片；气流组件，气流组件向密封腔内通入气体，气流组件设置于密封腔的内壁上；加热组件，加热组件在密封腔内释放热量，加热组件与气流组件连接。将载体送入密封腔，降低所述密封腔内的压强，通过加热组件对密封腔加热，并通过气流组件向密封腔内排入气体，提高密封腔内的热量传导。在本申请实施例中，当装载有硅片的载体进入密封腔后，气流组件和加热组件能够同时工作，增强了密封腔内的热传导效率，具有使得对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388654 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111519574.6 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人泰州隆基乐叶光伏科技有限公司