一种用于半导体加工的智能液体前驱体源存储装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种用于半导体加工的智能液体前驱体源存储装置.pdf

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本发明公开了一种用于半导体加工的智能液体前驱体源存储装置，包括存放罐，用于存储和供应液态前驱体；配量模块，用于将存放罐内的液态前驱体输送到沉积装置中，与控制模块连接；搅拌模块，用于搅拌液态前驱体，与控制模块连接；液位检测模块，对存放罐内的液态前驱体的液位进行检测，与控制模块连接；控制模块，通过液位检测模块反馈的液位信号对搅拌模块和配量模块进行指令控制；本发明通过液位检测模块对存放罐内的液态前驱体进行液位检测，实现液体前驱体的快速供给和存放罐的合理更换，同时，采用搅拌模块对液态前驱体进行有效搅拌，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114367231 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202111465378.5 (22)申请日 2021.12.03 (71)申请人浙江陶特容器科技股份有限公司