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本发明公开了一种球面曲率测量仪,包括测量平台、被测球面放置工装、位置测量仪、激光干涉仪;被测球面放置工装活动设置于所述测量平台上,用于承载被测的球面镜片;位置测量仪设置于所述测量平台上,用于测量所述被测球面放置工装移动的位置;激光干涉仪设置于所述测量平台上,用于采集所述被测球面放置工装上的球面镜片移动时的图像。本发明的有益之处在于提供一种使被测工件的摆放更加方便,测量更加稳定精确的球面曲率测量仪。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114370829 A
(43)申请公布日 2022.04.19
(21)申请号 202210093569.1
(22)申请日 2022.01.26
(71)申请人 昆山艾尔发计量科技有限公司
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