一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法.pdf

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本发明公开一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法，蚀刻液包括：无机酸、铜盐和缓蚀剂。无机酸用于提供酸性环境的氢离子，酸性环境有利于激发铜盐中铜离子的氧化性，使其与钛铜合金发生反应，实现对钛铜合金的蚀刻。铜盐溶解后，铜离子在酸性环境中具有强氧化性，可与钛铜合金发生反应，实现对钛铜合金的蚀刻。通过在蚀刻液中添加缓蚀剂，缓蚀剂能够溶解在蚀刻液中，且与钛铜合金具有较好的亲和力，缓蚀剂在蚀刻过程中可以附着在钛铜合金的侧壁，减少侧壁与蚀刻液的接触，进而减少侧蚀，提高蚀刻精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114381736 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210012816.0 (22)申请日 2022.01.07 (71)申请人安捷利（番禺）电子实业有限公司