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本发明公开一种形成金手指结构的方法,包含:形成至少一金属层于基板上,所述至少一金属层邻近基板的边缘。使用激光处理所述至少一金属层以形成第一凹槽于所述至少一金属层中并暴露出基板,第一凹槽的延伸方向实质上平行于基板的边缘且横跨经处理的至少一金属层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114375093 A
(43)申请公布日 2022.04.19
(21)申请号 202210099475.5
(22)申请日 2017.09.28
(62)分案原申请数据
2017108
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