压电式微机械超声换能器.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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压电式微机械超声换能器.pdf

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本公开的实施例涉及压电式微机械超声换能器。PMUT器件包括薄膜元件，该薄膜元件垂直于第一方向延伸并且被配置为通过关于平衡位置振荡来生成和接收超声波的。PMUT器件包括至少两个压电元件，其中每个压电元件沿着第一方向位于薄膜元件之上并且被配置为当电信号被施加到压电元件时引起薄膜元件振荡，以及响应于薄膜元件的振荡而生成电信号。薄膜元件沿垂直于第一方向的平面具有叶瓣形状，其中叶瓣形状包括至少两个叶瓣。对于每个压电构件，薄膜元件包括对应的薄膜部分，该对应的薄膜部分包括对应的叶瓣，其中每个压电构件位于其对应

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114377931 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111202185.0 (22)申请日 2021.10.15 (30)优先权数据 102020000