一种具备自动补液功能的晶圆槽式清洗机.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种具备自动补液功能的晶圆槽式清洗机.pdf

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本发明涉及晶圆清洗机技术领域，且公开了一种具备自动补液功能的晶圆槽式清洗机，包括壳体、加热箱、补液块，所述补液块内壁活动连接有补液机构，所述补液机构包括热导杆，所述热导杆顶部固定安装有记忆金属，所述记忆金属顶部靠近所述补液块内腔左壁的一侧固定连接有第一电块。该具备自动补液功能的晶圆槽式清洗机，通过利用热导杆分别对原清洗液及药液的温度进行检测，并利用记忆金属带动第一电块控制药液的加热温度，利用需加热指定温度的药液与原清洗液温度对热导杆同等导热机制，使得第一、二电块上移同等高度后，及时进行电路控制添

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114405921 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210324855.4 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人智程半导体设备科技（昆山）有限公