一种吸盘机构及装设装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于四川
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一种吸盘机构及装设装置.pdf

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本发明提供了一种吸盘机构及装设装置，涉及化学气相沉积设备领域，吸盘机构包括载盘吸附管、载盘吸附件、晶圆吸附管、晶圆吸附件及支撑件，载盘吸附管可转动地设于支撑件上，载盘吸附件设于载盘吸附管的一端，且与载盘吸附管连通，载盘吸附件用于吸附载盘，晶圆吸附管穿设于载盘吸附管中，晶圆吸附件设于晶圆吸附管靠近载盘吸附件的一端，且与晶圆吸附管连通，晶圆吸附件用于吸附晶圆，晶圆吸附管能够在载盘吸附管中移动，以使吸附于晶圆吸附件上的晶圆移动至吸附于载盘吸附件上的载盘上。本发明提供的吸盘机构操作简易，可实现自动化取放

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114420527 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210070925.8 C30B 25/08 (2006.01) (22)申请日 2