一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法.pdf

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本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体涉及一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法，包括以下步骤：S1、光刻胶的预处理：向待测光刻胶样品中加入提取液，直至光刻胶样品中有沉淀物析出，去除沉淀物，得到待测清液；S2、待测清液的GC‑MS分析检测：待测清液采用气相色谱质谱联用仪进行检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S3、鎓盐类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中分别提取m/z

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114414711 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111647566.X G01N 30/88 (2006.01) (22)申请日 2