气体分流组件和具有其的晶体生长装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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气体分流组件和具有其的晶体生长装置.pdf

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本发明公开了一种气体分流组件和具有其的晶体生长装置，晶体生长装置还包括炉体，炉体形成有保护气进口，气体分流组件适于设于炉体内且位于保护气进口的下游侧，气体分流组件包括多个分流件，多个分流件沿气流流向间隔排布，每个分流件包括多个支撑框和多个散风筋组，支撑框为环形，多个支撑框沿炉体的径向依次套设设置，每组散风筋组包括沿炉体的周向间隔设置的散风筋，相邻两个支撑框之间通过一组散风筋组相连，每个散风筋的两端分别与相应的两个支撑框相连。根据本发明的气体分流组件，可以使得流至炉体内的保护气气流较为均匀、稳定，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114411249 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111547069.2 (22)申请日 2021.12.16 (71)申请人徐州鑫晶半导体科技有限公司