一种减少结晶物堆积的晶圆清洗装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种减少结晶物堆积的晶圆清洗装置.pdf

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本发明公开了一种减少结晶物堆积的晶圆清洗装置，包括：清洗仓；晶圆承载台，晶圆承载台设置于清洗仓内；第一吹气机构，第一吹气机构设置于晶圆承载台的上表面，且第一吹气机构上设置有若干第一吹气口；旋转支撑机构，旋转支撑机构与晶圆承载台连接，旋转支撑机构用于驱动晶圆承载台的转动；排气机构，排气机构的吸气端设置于清洗仓的下部，排气机构用于排出清洗仓内的气体；清洗机构，清洗机构具有一清洗喷嘴，清洗喷嘴设置于晶圆承载台的正上方。通过对本发明的应用，在第一吹气机构和排气机构于清洗仓内的相互配合下，使得清洗仓内的气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114420592 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111643608.2 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人至微半导体（上海）有限公司