一种碳化硅长晶的加热装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种碳化硅长晶的加热装置.pdf

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本发明公开了一种碳化硅长晶的加热装置，包括石墨坩埚和套设于石墨坩埚外侧的感应线圈，还包括恒流源，所述恒流源为感应线圈提供恒定电流，所述石墨坩埚底部设置回流石墨排和导电连接杆，所述导电连接杆固定连接于石墨坩埚底部中心，并向下竖直延伸，导电连接杆另一端连接有电机，电机带动驱动导电连接杆转动从而带动石墨坩埚旋转，所述回流石墨排一端与石墨坩埚底部电连接，另一端与导电连接杆侧面电连接。外部线圈通过恒定电流，恒定电流产生恒定磁场，不会加热外部金属结构，可使设备设计制造更为紧凑，降低能耗，消除对电器件的干扰；

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114411256 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111672628.2 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人南京晶升装备股份有限公司