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本公开涉及一种机械手坐标点位补偿方法、装置、芯片检测方法、装置。所述方法包括:获取根据基坐标系确定放置在承载盘中边缘点工件的坐标;根据所述承载盘中工件的行列数据、所述边缘点工件的坐标确定所述工件的间距、所述基坐标系与工件坐标系之间的偏移量;根据所述边缘点工件的坐标、所述间距、所述偏移量、目标工件所在的行列数据确定目标工件的补偿坐标;基于所述目标工件的补偿坐标确定所述目标工件的位置。采用本方法能够准确的定位芯片位置,提升测试分选效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114405850 A
(43)申请公布日 2022.04.29
(21)申请号 202210081212.1
(22)申请日 2022.01.24
(71)申请人 苏州华兴源创科技股份有限公司
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