一种合金靶材连续式制备系统及其方法.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种合金靶材连续式制备系统及其方法.pdf

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本发明公开了一种合金靶材连续式制备系统，包括框架、支撑壳、转盘、驱动机构、支撑盘、凸块、吸盘、靶材、转换机构、第一气缸、第一气缸杆、磨板和支脚，所述框架上焊接有支撑壳，所述支撑壳内转动连接有转盘，所述转盘上设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有支撑盘，所述支撑盘上固定安装有吸盘，所述吸盘上吸附有靶材，所述框架上设置有转换机构，所述框架上固定安装有第一气缸，所述第一气缸的第一气缸杆和框架滑动连接，所述第一气缸杆上焊接有磨板，所述磨板和靶材接触。本发明涉及一种合金靶材连续式制备系统及其方法，具有便于对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114406851 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210031202.7 C23C 14/34 (2006.01) (22)申请日 2