模块移入移出装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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模块移入移出装置.pdf

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本发明提供的一种模块移入移出装置，涉及作业设备技术领域，以在一定程度上解决设备维护时需要将外围模块整体拆除再复装，导致效率较低的问题。本发明提供的模块移入移出装置，包括驱动机构、配合座、端盖以及连接件；配合座与模块相连接，且沿配合座的轴向形成有贯通配合座两端的贯通部；端盖封堵于贯通部的顶端，驱动机构包括驱动件和连接轴，连接轴沿竖直方向延伸，连接轴的一端与驱动件的驱动端转动连接，另一端由贯通部的底端进入配合座，驱动件能够驱动连接轴在竖直方向运动，以带动模块与模块的承载平台相分离；连接件的一端穿过端

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114406942 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210115654.3 (22)申请日 2022.02.07 (71)申请人北京半导体专用设备研究所（中国