一种晶棒槽晶向测量仪和测量方法.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种晶棒槽晶向测量仪和测量方法.pdf

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本发明提供一种晶体槽晶向测量仪和测量方法，其中晶棒槽晶向测量仪器包含载物机构、晶向测量机构、测角仪、槽深测量机构，所述载物机构能够承载晶棒并带动晶棒旋转，所述测角仪能够测量晶棒旋转角度，所述槽深测量机构能够测量所述晶棒的槽深，所述晶向测量机构能够测量所述晶棒上指定点晶向。该晶体槽晶向测量仪能够自动化测量槽任意底部端点的晶向，测量效率和测量精度高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114414602 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210186628.X (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人丹东奇伟企业管理咨询有限公司