一种易于清除结晶堆积的晶元清洗装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种易于清除结晶堆积的晶元清洗装置.pdf

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本发明公开了一种易于清除结晶堆积的晶元清洗装置，包括：承载台；第一晶元夹持组件，第一晶元夹持组件用于夹持晶元片的边缘；第二晶元夹持组件，第二晶元夹持组件用于夹持晶元片的边缘；第一驱动部，第一驱动部用于驱动第一晶元夹持组件靠近或远离晶元片设置；第二驱动部，第二驱动部用于驱动第二晶元夹持组件靠近或远离晶元片设置；清洗组件，清洗组件设置于承载台的上方。通过对本发明的应用，通过对第一晶圆夹持组件和第二晶圆夹持组件的依次交替配合夹持晶圆片，使得晶圆片与对应的夹持组件的接触处可分离，并通过清洗组件进行边缘处

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114420627 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111677851.6 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人至微半导体（上海）有限公司