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一种TiNb涂层的镀膜方法.pdfVIP

一种TiNb涂层的镀膜方法.pdf

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    一种TiNb涂层的镀膜方法，所述TiNb涂层的镀膜方法的TiNb合金靶材的配比为Nb＝55～65％，其余为Ti，事先设置好了靶材中Nb和Ti的配比，因此在TiNb合金靶材蒸发产生相应离子，沉积到被镀工件表面形成TiNb膜层时，能精准控制Nb和Ti蒸发比例。并且TiNb合金靶材的该配比为最佳比例，使得在最佳配比下形成的TiNb膜层的成分配比为Nb＝60％～63％，其余为Ti、N、以及Ar，使所述TiNb膜层具有更好的强度。相较于两种单质靶材混合镀，操作更简单，并使TiNb膜层的比例更精准，提高Ti

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114411098 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111570093.8 (22)申请日 2021.12.21 (71)申请人 嘉兴

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