一种基于双雪崩机制的台面型雪崩单光子探测器.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种基于双雪崩机制的台面型雪崩单光子探测器.pdf

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本发明公开了一种基于双雪崩机制的台面型雪崩单光子探测器，包括衬底、缓冲层、P型层、第一阻挡层、第一吸收层、第二阻挡层、第二吸收层、I型层、N型层、钝化层、阴极引出端和阳极引出端。缓冲层、P型层、第一阻挡层、第一吸收层、第二阻挡层、第二吸收层、I型层、N型层依次按照从下到上的顺序生长在衬底上；光子从衬底入射，P型层上的阴极引出端接电源的负极，N型层上的阳极引出端接电源的正极，光子被第一吸收层，第二吸收层所吸收，且在第一吸收层和I型层进行倍增。本发明工艺简单，设计紧凑，同时在高温工作环境下可大幅度降

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114420783 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210123375.1 (22)申请日 2022.02.10 (71)申请人中国科学院上海技术物理研究所