一种半导体悬臂桨产品的碳化硅含量提纯、提升方法.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种半导体悬臂桨产品的碳化硅含量提纯、提升方法.pdf

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一种半导体悬臂桨产品的碳化硅含量提纯、提升方法，碳化硅原料使用硝酸、氢氟酸、盐酸进行酸洗提纯,烘干；采用有机材质的搅拌锅搅拌原料得到合适的浆料；注浆模具配合的工装表面进行封装，浆料注浆入到处理好的注浆模具中；注浆成型后，干燥后脱模成素坯，修整采用碳化硅砂纸处理；胚体装炉烧结得到碳化硅悬臂桨半成品；出炉后的碳化硅悬臂桨半成品不打磨，使用碳化硅颗粒、干冰进行喷砂处理，将步骤7）处理好的碳化硅悬臂桨半成品通入高纯一甲基三氯硅烷，沉淀形成CVD涂层，得到成品碳化硅悬臂桨。少了金属杂质的引入，提高产品的强

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114409407 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210136418.X (22)申请日 2022.02.15 (71)申请人陕西固勤材料技术有限公司